首先，當X射線源發出的X射線照射到材料表面時，X射線與材料中的原子發生相互作用，使原子內層電子受到激發，從低能級躍遷到高能級。此時，原子處于不穩定狀態，為了回到穩定狀態，原子會釋放出特征X射線，即熒光X射線。熒光X射線的能量或波長與薄膜中的元素相對應，因此通過測量熒光X射線的能量或波長，可以確定薄膜中元素的種類和含量。

　　其次，熒光X射線被探測器接收后，會被轉換為電信號。探測器通常采用能量分辨率較高的半導體探測器或氣體電離探測器，能夠根據熒光X射線的能量或波長對其進行識別和測量。探測器輸出的電信號經過前置放大器放大后，再由專用測厚儀操作系統進行數字化處理。

　　最后，通過專用的軟件系統對數字化處理后的數據進行處理和分析，計算出薄膜的厚度和元素成分等信息。在軟件系統中，通常采用算法和校準標定技術對測量數據進行修正和補償，以提高測量準確性和重復性。

　　總之，X射線熒光膜厚儀的測量原理是基于X射線與物質的相互作用，通過測量熒光X射線的能量或波長來確定薄膜中元素的種類和含量，并計算出薄膜的厚度。該儀器具有非破壞性、快速、準確和多元素同時分析等優點，可以廣泛應用于各種材料的薄膜厚度測量。